案件番号 T07-181
発明の名称 シリカ・チタニアガラス及びその製造方法、線膨張係数測定方法
発明者 東北大学 櫛引 淳一 教授(工学研究科)
発明の説明 本発明は、波長13.5nmのEUVリソグラフィーに用いられる反射光学材料に好適な、 線熱膨張係数(CTE)が十分に小さいシリカ・チタニアガラスを得ることができ、また、シリカ・チタニアガラスのCTEを精度よく測定することが可能になる測定方法で、 さらに、所望の仮想温度Tfに設定することにより、CTEを所望の範囲に設定することが出来るシリカ・チタニアガラスの製造方法に関するものである。
図面等

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