案件番号 T10-044
発明の名称 合成石英ガラスの仮想温度の測定方法
発明者 工学研究科(櫛引 淳一、荒川 元孝)
発明の説明 従来の合成石英ガラスの仮想温度の測定精度は、赤外分光分析法で±15℃、ラマン分光分析法で±60℃と精度が悪く、かつスポット計測で量産ラインへの導入が出来ないという問題点があった。そこで、本発明は、従来の問題点を解決し、面内測定により量産ラインへの導入が可能で、仮想温度を高精度で計測可能な、合成石英ガラスの仮想温度の測定方法に関するものである。

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