発明から生まれた製品・サービスの事例
高周波磁気特性評価装置およびプローブ
東北大学医工学研究科の薮上信教授は、高周波磁気特性評価装置およびプローブに関する技術を開発しました。当該技術は、株式会社東栄科学産業様にライセンスされ、製品化されています。
本評価装置は、高周波透磁率測定の課題であった周波数帯域、感度、サンプルサイズの限界を独自の装置設計により克服し、既存測定装置と比較し、40 GHzまでの広帯域、5 nm厚の極薄膜、任意サイズのサンプル評価を実現しています。また、本プローブは、磁性材料のインライン評価への応用が期待できます。近年増加傾向にあるMRAM等の磁気デバイスで評価技術として注目されています。
製品の詳細及びお問い合わせは、株式会社東栄科学産業様のホームページをご覧下さい。
