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製品化事例

発明から生まれた製品・サービスの事例

原子レベルアンチエイリアス熱処理ミニマル装置(ミニマルレーザ水素アニール装置)

東北大学大学院工学研究科 金森義明教授は、坂口電熱株式会社様・国立研究開発法人産業技術総合研究所様・一般社団法人ミニマルファブ推進機構様と「原子レベルアンチエイリアス熱処理ミニマル装置(ミニマルレーザ水素アニール装置)」を共同開発致しました。本研究開発は、平成30年度~令和2年度 戦略的基盤技術高度化支援事業(サポイン事業)に採択されたものです。

当該製品は、独自のレーザ加熱技術を基盤とした新技術を搭載し、従来のランプ加熱による水素アニールよりも、急速昇降温(1100℃まで2.5秒)、【ムラのない均一な加熱】、かつ、安定した温度制御を実現したもので、コンパクトな筐体(幅約30cm)、クリーンルームが不要、低消費電力であることが特徴です。

当該製品を用いることで、シリコン微細構造の原子レベルでの平滑化と丸め制御が可能となり、MEMSデバイスの高性能化、高信頼性を実現できます。

詳細については、坂口電熱株式会社様のホームページからお願い致します。

坂口電熱株式会社様

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