案件番号 T08-042
発明の名称 角度センサ
発明者 東北大学 高 偉 教授(工学部)
発明の説明 本発明は、精密工学分野において測定対象物の微小角度変位量計測等に用いる角度センサに関し、従来の光てこを用いた角度検出法の一種であるオートコリメーション法は測定対象である鏡面体と,光源,レンズ,位置検出素子の組み合わせからなり、焦点面のスポットサイズ位置検出素子の分割ホトダイオードより大きくする必要があり、計測の高感度化に限界があった。そこで、本発明は、このような従来技術の欠点を解消し、X軸、Y軸及びZ軸回りの微小角度変位量の測定が可能な多自由度軸角度センサに関するものである。
図面等

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