光アクチュエータ

無機材料を活用した光刺激で駆動するアクチュエータを実現する

概要

　本件は光刺激に反応して物質に歪が発生する現象を利用して、力学的な動きを出力するよう構成された光駆動アクチュエータに関する。 従来、この分野では、有機物材料が光刺激により可逆的な構造変化を起こす 現象を利用したアクチュエータが開発されてきたところ、駆動速度が遅い等の課題があった。

　発明者らは無機誘電体材料に着目し研究を進めるなかで、酸化物材料を単結晶のまま薄膜化しシート状に作製可能とすることに成功した。 当該シートは紫外線領域の光に反応して、従来よりも高速に変形することを実験的に確認し、本発明を完成させるに至った。

周波数特性

応用例

・光による遠隔駆動装置
・バルブ操作
・流量制御

関連文献

[1] Lizhikun Gong, Mian Wei, Rui Yu, Hiromichi Ohta, and Tsukasa Katayama, ACS Nano 2022, 16, 12, 21013–21019
[2] R. Yu, L. Gong, H. Ohta, and T. Katayama*, ACS Appl.Electron. Mater. 5, 9, 5234 (2023).

知的財産データ

知財関連番号　： 特願2023-176752 他1件
発明者　　　　： 片山　司、田口　敦清、ゴン　李治坤
技術キーワード： アクチュエータ、光刺激、単結晶薄膜、無機誘電体