窒化物コーティング法

マイクロ波照射により、空気中にある窒素を使って、短時間で窒化チタン膜が作製可能

概要

　窒化チタンコーティング法としては、従来からスパッタリング法や基材にチタンイオンと窒素ガスイオンを照射し、基材上で反応させる方法、プラズマＣＶＤ法などがある。
　本発明は、これらの方法と比較すると空気中の窒素を窒素源として使用するものであり、雰囲気調整を必要としないことから、シンプルなプロセスにより低コストで窒化チタンのコーティングを行うことが出来き、高硬度で滑り特性・耐熱性特性を容易に付加できる。
　対象材料は金属以外にもセラミックスでも同様効果が得られる。また、コーティングをする材料としてはチタン以外にクロム、マンガンなどの窒化物をつくることができる。

性能・特徴等

応用例

・複雑形状工具等への窒化チタンコーティング　
・硬度、耐久性、滑り性を向上させた金属、セラミック部材基材の条件： 融点が千数百℃以上の金属やセラミックス、等

知的財産データ

知財関連番号　： 特許第4765069号 　　　
発明者　　　　： 林田　千絵、滝澤　博胤、林　大和
技術キーワード： 窒化チタン、TiN、マイクロ波プロセス、耐久性、意匠付与