東北大学技術
整理番号:T13-034
窒化アルミニウム(ALN)膜を有する基板
安価なサファイヤ基板上に、“超高品質”な窒化アルミニウム膜を作製可能!
概要
紫外発光素子は、蛍光灯の代替、高密度DVD、生化学用レーザ、光触媒による公害物質の分解、He-Cdレーザ、水銀灯の代替など、次世代の光源として幅広く注目されている。この紫外発光素子は、ワイドギャップ半導体と呼ばれるAlGaN系窒化物半導体からなり、サファイアなどの異種基板上に積層される。一方、サファイア上に成長したAlN膜には多数の貫通転位が存在し品質が悪いといった課題があった。 本発明は、サファイア上に成長したAlN膜を有する基板をN2/CO混合ガス中で熱処理して形成するといった簡単な方法でAlN膜の結晶性を飛躍的に向上させるものである。
効果・応用例
知的財産データ
知財関連番号 : 特許6206758 【日本】 特許9,614,124【米国】
発明者 : 福山 博之、 三重大学 三宅 秀人
技術キーワード: 材料