窒化物コーティングの形成方法

窒化物をより均一にコーティングすることが可能

概要

　従来開発されている窒化物コーティング方法として、CVD法(化学的蒸着)やPVD法(物理的蒸着)などが知られている。しかし、真空装備による圧力調整や雰囲気置換を行う必要があるため、製造工程が複雑に なり、作業が効率的でないという問題があった。そこで、大気中において基材表面に窒化物をコーティングする技術の開発が行われているが、コーティングにムラが生じるという課題がある。
　本発明によって、簡単な工程かつ容易な操作で、窒化物をより均一にコーティングすることができる窒化物コーティングの形成方法を提供することが可能になった。本発明は、コーティング過程と窒化過程とを入れ換え、 既に存在している窒化物に、マイクロ波を利用してコーティングするものである。コーティングがマイクロ波の照射で済む上、従来法で必要であった圧力調整や雰囲気置換が不要なため、大気中で実施可能となる。これ によって、簡単な工程かつ容易な操作で、基材の表面に窒化物コーティングを均一に形成することができる。

窒化物コーティングの表面が一様でムラが無いことがＸ線回折法による測定で確認された

応用例

・生体用・歯科用インプラント部材の製造

知的財産データ

知財関連番号　： WO2020/184192
発明者　　　　： 阿部 博弥、藪 浩、伊藤 晃寿福島潤、滝澤博胤、飯塚希、伊藤彩、伊東明代、小川徹、佐々木啓一
技術キーワード： 窒化チタン、TiN、マイクロ波プロセス、耐久性、意匠性