TOP > 発明案件 > T19-388

発明案件

東北大学技術
整理番号:T19-388

酸化ガリウムの製造方法

低コスト・低温・簡単な酸化ガリウム製造工程を実現

概要

 γ-酸化ガリウム(γ-Ga2O3)は、酸化ガリウムの準安定構造の一つであり、優れた触媒特性を有している。ただ、合成が困難であることが知られ ている。従来の製造方法として、硝酸ガリウム水和物を尿素と共に蒸留水に溶解させた後、それを500℃で燃焼することにより、γ-Ga2O3ナノ 粒子を得る方法などが開発されている。しかし、この方法では高温処理用の設備が必要となり、設備費などの製造コストが嵩むという課題があった。
 本発明によって、低温かつ比較的簡単な工程でγ-Ga2O3を製造することができ、製造コストを低減することができる酸化ガリウムの製造方法 を提供することが可能になった。本発明は、液体のガリウムと還元剤とを含む原料溶液に対して、超音波を照射することを特徴とする。それにより、ガリウムの粒子を微細化することができ、その表面にγ-Ga2O3の結晶 を有する粒子を形成することができる。これによって、燃焼工程や複雑な分離・洗浄工程が不要となり、製造コストを抑え、低温かつ比較的簡単な工程でγ-Ga2O3を製造することができる。

酸化ガリウムの製造方法

γ-Ga2O3の存在がXRDスペクトルで確認された

酸化ガリウムの製造方法

応用例

・ワイドギャップ半導体
・パワーデバイス

知的財産データ

知財関連番号 : 特開2021-66636
発明者    : 林 大和、高野 裕希、滝澤 博胤
技術キーワード: γ-Gallium oxide、nanoparticle、Microwave process







発明案件一覧に戻る

ページトップへ